小體積振鏡是一種微型振鏡,具有超小的體積和內置控製器,這種振鏡采用壓電陶瓷電機,具有高精度和可靠性,同時內置微處理器及PID控製器,無需外加控製器。

小體積振鏡廣泛應用於激光打標、激光切割、激光焊接等領域,尤其適用於空間有限或需要高精度的應用場景。
小體積振鏡的原理是基於微機電係統(MEMS)技術製作的微小可驅動反射鏡,這種反射鏡的直徑通常隻有幾毫米,具有重量輕、體積小、易於大批量生產、生產成本較低等優點,小體積振鏡的鏡麵可以快速偏轉,通過改變激光束的方向來實現瞄準、掃描或動態聚焦等功能。
小體積振鏡的驅動原理有多種,如靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動、熱電驅動等,在工作過程中,輸入一個位置信號,小體積振鏡會按照一定電壓與角度的轉換比例擺動一定角度,整個過程采用閉環反饋控製,由位置傳感器、誤差放大器、功率放大器、位置區分器、電流積分器等五大控製電路共同作用。
通過調節輸入信號,可以控製小體積振鏡的偏轉角度和偏轉速度,從而實現激光束的定向控製,在激光打標、激光切割、激光焊接等領域中,小體積振鏡廣泛應用於需要高精度、高速度的場合,如電子元件打標、珠寶首飾打標等。